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光學隔振平臺可分為以下兩大類
2021-12-16 振動來源主要分為來自系統之外的振動和系統內部的振動。地面固有振動，工作人員踩踏地板以及開、關門或墻壁碰撞等通過地面傳來的振動均屬系統之外的振動，這一類振動需通過光學隔振平臺的隔振腿衰減，而來自系統內部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等，則需依靠桌面阻尼來隔絕。光學隔振平臺采用高阻尼處理技術和超高性能空氣彈簧，*集成且使用簡單，適用于光學顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供優異的被動隔振性能。主動隔振臺與被動隔振臺的區別兩者的區別在于隔振方法。被動隔振臺是由于材料...
如何選擇可變放大倍率鏡頭？
2021-11-24 如何選擇可變放大倍率鏡頭？選擇成像鏡頭時，必須了解成像系統的基本系統參數（詳情參見成像系統中的6種基本參數)。在正確選擇鏡頭之前，至少要考慮工作距離、視場和分辨率等因素。對此，可以假設固定焦距鏡頭、變焦鏡頭和微距鏡頭具有相同的工作原理，并可按照相同的方式進行選擇。假設變焦鏡頭規定了具體焦距，且變焦功能已鎖定。所有可變放大倍率鏡頭都根據公式1進行對焦。當z’為像距（可視為成像平面和最后一個元件的距離），z為物距（或對焦物體和前方鏡頭元件的距離），f為鏡頭焦距。這是一種近似公式，...
如何選擇固定倍率鏡頭？
2021-11-23 如何選擇固定倍率鏡頭？初看之下，遠心鏡頭或顯微物鏡等鏡頭看起來很難歸類到某一種成像系統，它們的工作方式與傳統固定焦距鏡頭截然不同。但與傳統鏡頭相比，這種鏡頭的選擇過程實際上要簡單的多。除了少數例外情況，固定放大倍率鏡頭通常只能在一個工作距離處正常工作。此外它們還有特定的放大倍率，比如2.0X遠心鏡頭。放大倍率實際上已標在鏡頭上，這就是它們正常工作的參數，而對于視場，我們只需將成像系統中的6種基本參數中的公式1轉化為以下形式：:其中PMAG為鏡頭規定放大倍率。從這個公式中可以發...
脈沖激光的實現方法
2021-11-05 脈沖激光的實現方法導敘以連續波模式工作的激光器的輸出功率不隨時間變化。這是由于激光器達到了一種激光腔增益（取決于與泵浦速率成正比的粒子數反轉）和損耗（包含腔損耗和受激輻射速率）保持平衡的穩態條件。由于能夠顯著提高峰值輸出功率，所以通常希望激光器可以工作在脈沖模式。可以將連續激光輸出發送至外部調制器來實現脈沖激光運轉，調制器充當一個只在短時間內允許透過的開關（見圖1，左）。這種簡單的方法有許缺點。由于大多數光被調制器阻擋，該方法的效率很低。此外，峰值功率永遠不會超過連續光源的平...
可調諧激光器從實現技術上可分為以下三種類型
2021-06-28 可調諧激光器是指在一定范圍內可以連續改變激光輸出波長的激光器，本產品與其他傳統的固態激光器相比，具有從近紫外到近紅外的寬波段調諧范圍，并且其本身尺寸小、線寬窄和光學效率高，可用于光譜學、光化學、醫學、生物學、集成光學、污染監測、半導體材料加工、信息處理和通信等。可調諧激光器從實現技術上看主要分為：電流控制技術、溫度控制技術和機械控制技術等類型。電流控制技術是通過改變注入電流實現波長的調諧，具有ns級調諧速度，較寬的調諧帶寬，但輸出功率較小，基于電控技術的主要有SG-DBR(采...
什么時候使用主動隔振系統？哪種方法更適合您的應用程序？（第一部分）
2021-05-07 什么時候使用主動隔振系統？哪種方法更適合您的應用程序？（第一部分）主動系統隔振本章節將幫助工程師和科學家對主動隔振系統有一個大致的了解，它們是如何工作的，什么時候應該應用，以及它們有什么限制。由于半導體制造業在這一領域出現了許多應用，因此得到了特別的關注。5.1歷史反饋控制系統已經存在了幾百年，但是在20世紀有了最大的發展。在第二次世界大戰期間，這項技術被用于防御系統，取得了非常迅速的進展。這些發展還在繼續，甚至在今天，大多數關于控制系統的文本都以戰斗機控制和倒彈制導系統為例...
如何克服因地面振動影響光刻系統的圖案質量？
2021-02-05 如何克服因地面振動影響光刻系統的圖案質量？振動對高級浸沒式光刻的影響沒有使用STACIS®在原基座的彈性體或剛性版本上獲得jia模式使用STACIS®STACIS主動隔振實現的模式所示的45納米線寬測試圖形是由AmphibianSystems公司生產的*浸入式光刻系統生產的，安裝在德克薩斯州*的SEMATECH公司。圖像之間的差異是由于地震振動對光刻過程的影響。所顯示的圖像是使用掃描電子顯微鏡獲得的。該工具初安裝在鋼和混凝土基座上，基座采用鋼支撐結構，其中包含...
【是心動的感覺】-新品Cleanbench-AKTIV
2021-01-18 【是心動的感覺】-新品Cleanbench-AKTIV主動壓電隔振與氣浮隔振的完美結合：CleanBenchAktiv™實驗臺是TMC在高性能地面振動控制方面的新突破。它將TMC的Everstill主動消振技術與MaxDamp氣浮隔振器相結合。Everstill可從0.5至0.7Hz開始提供出色的低頻消振性能，而MaxDamp可提供高頻率的較好隔振性能補充。比氣浮性能改善高達40倍：這種串聯式的組合結構，使我們的CleanBenchAktiv在特別關鍵的1-3Hz...

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